发明名称 JIG FOR SILICON ETCHING
摘要
申请公布号 KR200174717(Y1) 申请公布日期 2000.04.01
申请号 KR19960055607U 申请日期 1996.12.24
申请人 POHANG RESEARCH INSTITUTE OF INDUSTRIAL SCIENCE & TECHNOLOGY 发明人 KIM, OH-GYU;KWON, YOUNG-KYU;LEE, KWANG-CHEOL;LEE, SUN-YONG
分类号 H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址