DISPOSITIF AUTORISANT LE TRAITEMENT D'UN SUBSTRAT DANS UNE MACHINE PREVUE POUR TRAITER DE PLUS GRANDS SUBSTRATS ET SYSTEME DE MONTAGE D'UN SUBSTRAT DANS CE DISPOSITIF

摘要

Dispositif autorisant le traitement d'un substrat dans une machine prévue pour traiter de plus grands substrats et système de montage d'un substrat dans ce dispositif.Le dispositif comprend un anneau (24) ayant un diamètre extérieur égal au diamètre de ces substrats, cet anneau étant apte à sertir le substrat (22) de diamètre inférieur. Le système comprend des moyens (34) de manipulation de ce substrat et des moyens (36) de chauffage de l'anneau ou de refroidissement de ce substrat. Application en microélectronique.