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发明名称 Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE69511920(T2) 申请公布日期 2000.03.30
申请号 DE19956011920T 申请日期 1995.01.25
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 TAKAHASHI, KAZUHIRO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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