发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR IMPROVING RESOLUTION AND REDUCING NOISE IN AN IMAGE DETECTOR FOR AN ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP0988646(A1) 申请公布日期 2000.03.29
申请号 EP19980932750 申请日期 1998.06.12
申请人 GATAN, INC. 发明人 MOONEY, PAUL, E.;HUNT, JOHN, A.
分类号 H01J37/22;H01J37/244;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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