| 发明名称 |
HIGH CAPACITY GAS STORAGE AND DISPENSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0988491(A1) |
申请公布日期 |
2000.03.29 |
| 申请号 |
EP19980923573 |
申请日期 |
1998.05.20 |
| 申请人 |
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. |
发明人 |
TOM, GLENN, M. |
| 分类号 |
H05H1/42;B01D53/04;F17C7/00;F17C11/00;H01L21/265;(IPC1-7):F17C11/00;B01D53/02 |
主分类号 |
H05H1/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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