| 发明名称 |
Apparatus for depositing a thin film on a substrate |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2335929(B) |
申请公布日期 |
2000.03.29 |
| 申请号 |
GB19990011077 |
申请日期 |
1998.06.15 |
| 申请人 |
* NEC CORPORATION |
发明人 |
AKIO * TANIKAWA;TAISHI * KUBOTA |
| 分类号 |
C23C16/24;C23C16/48;(IPC1-7):C23C16/48;C23C16/44;C23C16/46 |
主分类号 |
C23C16/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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