光学二维扫描测试装置

摘要

本实用新型公开一种光学二维扫描测试装置。它由扫描镜、两块凹面全反镜、样品池、探头、信号线和马达组成,其中与马达连接的扫描镜安装在第一凹面全反镜的焦点位置上,所述探头安装在第二凹面全反镜的焦点位置上,所述探头的输出信号通过信号线连接到示波器上,所述两块凹面全反镜安装在样品池两侧,所述扫描镜为柱面扫描镜,其面数n在3≤n≤40范围内。本实用新型避免了国内外通用的两块镜子严格装配、精细控制交替运动的二维扫描转镜,具有轻型实用、结构简单、扫描速率可调之特点。

主权项

1.一种光学二维扫描测试装置，由扫描镜(1)、两块凹面全反镜(2)、样品池(3)、探头(4)、信号线(5)和马达(6)组成，其中与马达(6)连接的扫描镜(1)安装在第一凹面全反镜(21)的焦点位置上，所述探头(4)安装在第二凹面全反镜(22)的焦点位置上，所述探头(4)的输出信号通过信号线(5)连接到示波器上，所述两块凹面全反镜(2)安装在样品池(3)两侧，其特征在于：所述扫描镜(1)为柱面扫描镜，其面数n在3≤n≤40范围内。