| 发明名称 |
METHOD FOR MAKING A THIN FILM OF SOLID MATERIAL, AND USES THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0902843(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.29 |
| 申请号 |
EP19970924080 |
申请日期 |
1997.05.13 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BRUEL, MICHEL;ASPAR, BERNARD |
| 分类号 |
C23C14/58;H01L21/8247;C23C14/00;C23C14/48;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/762;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;H01L27/12;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/58 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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