| 摘要 |
<p>Es ist ein optisches Bauteil für die Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer aus synthetischem Quarzglas bekannt, das hergestellt wird durch Flammenhydrolyse einer chlorfreien Siliciumverbindung, die in Form von feinkörnigem SiO2 gebildet, auf einem Substrat abgeschieden und direkt verglast wird. Um hiervon ausgehend ein optisches Bauteil bereitzustellen, das für die Übertragung ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm und kürzer eine hohe Langzeitstabilität aufweist, und das insbesondere ein Schädigungsverhalten zeigt, bei dem die induzierte Absorption in eine Sättigung auf niedrigem Niveau einmündet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, daß das Quarzglas einen Wasserstoffgehalt von weniger als 5x1016 Molekülen/cm3 aufweist. Ein Verfahren zur Herstellung des optischen Bauteils umfasst die Herstellung von synthetischem, wasserstoffhaltigem Quarzglas, durch Synthese von feinkörnigem SiO¿2? mittels Flammenhydrolyse einer chlorfreien Siliciumverbindung, sowie Abscheiden und Verglasen des feinkörnigen SiO2 auf einem Substrat unter Bildung des wasserstoffhaltigen Quarzglases, wobei das wasserstoffhaltige Quarzglas einer Wasserstoff-Reduktionsbehandlung unterzogen wird, in der sein Wasserstoffgehalt auf einen Wert unterhalb von 5x10?16¿ Molekülen/cm3 eingestellt wird.</p> |
