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发明名称 Impurity quantity transfer device enabling reduction in pseudo diffusion error generated at integral interpolation of impurity quantities and impurity interpolation method thereof
摘要
申请公布号 EP0890917(A3) 申请公布日期 2000.03.22
申请号 EP19980112497 申请日期 1998.07.06
申请人 NEC CORPORATION 发明人 SYO, TOSHIYUKI
分类号 H01L21/22;G06F17/50;H01L21/00;H01L21/316;(IPC1-7):G06F17/50;G06T17/20 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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