| 发明名称 |
Method for producing hydrogenated silicon oxycarbide films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0960958(A3) |
申请公布日期 |
2000.03.22 |
| 申请号 |
EP19990110260 |
申请日期 |
1999.05.27 |
| 申请人 |
DOW CORNING CORPORATION |
发明人 |
LOBODA, MARK JON;SEIFFERLY, JEFFREY ALAN |
| 分类号 |
C01B31/36;C23C16/30;C23C16/42;H01B3/02;H01L21/285;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/30;H01L21/00;H01L21/314 |
主分类号 |
C01B31/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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