发明名称 | 延伸的测量方法及非接触式激光延伸计 | ||
摘要 | 本发明提供一种符合JIS的非接触式延伸测定方法及延伸计。本发明中,照在试样表面规定距离上的激光的散射光经光电变换得到的斑纹图案数据中,来自相距上述规定距离的两个区域的数据被作为观察点数据进行初始设定,用该各观察点的数据分别一边算出试样的上述两区域的斑纹图案的移动量,一边每当各移动量达到规定量,将作为观察点数据源的区域向所述移动方向进行移位,根据该移位量与用各观察点数据算出的斑纹图案的移动量算出其延伸。 | ||
申请公布号 | CN1050662C | 申请公布日期 | 2000.03.22 |
申请号 | CN95109207.3 | 申请日期 | 1995.07.20 |
申请人 | 岛津制作所株式会社 | 发明人 | 龟川正之 |
分类号 | G01B11/16 | 主分类号 | G01B11/16 |
代理机构 | 上海专利商标事务所 | 代理人 | 沈昭坤 |
主权项 | 1.一种延伸的测量方法,对着试验样品表面、在要测定延伸的方向规定长度上照射激光、将该激光的被试验样品表面的散射光加以光电变换得出斑纹图案数据,其特征在于,同时以该数据中、从试验样品上上述延伸方向上相距规定距离的两个区域得到的数据分别作为观察点数据的初始设定值,用这两个观察点数据分别计算出试验样品上上述两个区域来的斑纹图案的移动量,每当各移动量的计算结果达到规定值,将作为观察点数据源的区域向上述移动方向进行移位、根据用该各观察点的移位量与各观察点数据算出的斑纹图案移动量、算出初始设定的两个区域间的延伸。 | ||
地址 | 日本京都市 |