| 主权项 |
1.一种流体供应装置,其特征为:控制流体流量之压力流量控制器C,及开关压力流量控制器C之二次侧流体通路L的流体切换阀D,及控制压力流量控制器C与流体切换阀D之作动的流体供应控制装置B所构成;且将上述压力流量控制器C设于节流口5与节流口5之上游侧的控制阀1,及设于控制阀1与节流口5间的压力检测器3,及将从压力检测器3之检测压力P1演算作为流量Q=KP1(但是K系常数)之流量信号Qc与流量指令信号Qs之相差作为控制信号Qy而输出至上述控制阀1之驱动部2的演算控制装置6所形成,同时介经上述控制阀1之开关来调整节流口5之上游侧压力P1,俾控制节流口5之下游侧之流量的构成者。2.如申请专利范围第1项所述之流体供应装置,其中,在将节流口5之上游侧压力P1保持成下游侧压力P2之约两倍以上之状态下来开关控制控制阀1者。3.如申请专利范围第1项或第2项所述之流体供应装置,其中,将压力压力流量控制器C成为排列地配设之复数压力流量控制器C1.Cn,同时分别连通设于各压力流量控制器C1之二次侧的流体切换阀D1.Dn之出口侧并连接至流体使用负载E,又,将不同种类之流体供应于各压力流量控制器C1.Cn之一次侧者。4.如申请专利范围第1项或第2项所述之流体供应装置,其中,将流体切换阀D作为电动式之高速作动型流动切换阀者。5.如申请专利范围第1项所述之流体供应装置,其中,将流体切换阀D作为电动式之高速作动型流动切换阀者。6.如申请专利范围第4项所述之流体供应装置,其中,将电动式之高速作动型流动切换阀作为电磁驱动式之高速作动型流体切换阀者。图式简单说明:第一图系表示本发明之一实施态样之气体供应装置A的方块图。第二图系表示在本发明所使用之压力流量控制器之一实施态样的方块图。第三图系表示在本发明所使用之流体切换阀D的纵剖面图。第四图系表示在第八图之试验装置中,将本发明的压力流量控制器之二次侧压力作为1kg/cm2 abs时之H2.O2.N2及H2O之各浓度的线图。第五图系表示将压力流量控制器之二次侧压力作为0.5kg/cm2 abs时之各浓度的线图。第六图系表示将压力流量控制器之二次侧压力作为0.2kg/cm2 abs时之各浓度的线图。第七图系表示在第八图之试验装置中,将压力流量控制器之二次侧压力作为1kg/cm2 abs,H2与O2之供应量为2:1,H2与O2之供应及供应停止作为同时时之H2.O2.N2及H2O之各浓度的线图。第八图系表示具备使用以往的质量流量控制器之气体供应装置之水分发生试验装置的整体系统图。第九图系表示在第八图之试验装置中,将质量流量控制器之二次侧压力作为1kg/cm2 abs时之H2.O2.N2及H2O之各浓度的线图。第十图系表示将质量流量控制器之二次侧压力作为0.5kg/cm2 abs时之各浓度的线图。第十一图系表示将质量流量控制器之二次侧压力作为0.2kg/cm2 abs时之各浓度的线图。第十二图系表示在第八图之试验装置中,将质量流量控制器之二次侧压力作为1kg/cm2 abs,H2与O2之供应量为2:1,H2与O2之供应及供应停止作为同时时之H2.O2.N2及H2O之各浓度的线图。第十三图系表示在第十二图之试验中,将H2之开始供应比O2之开始供应延迟三秒钟且将H2之停止供应比O2停止供应快三秒钟时之H2.O2.N2及H2O之各浓度的线图。第十四图系表示以往之质量流量控制器之基本构成的方块图。 |
