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发明名称
摘要
申请公布号 JP3024401(B2) 申请公布日期 2000.03.21
申请号 JP19920317013 申请日期 1992.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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