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发明名称
摘要
申请公布号 JP3024760(B2) 申请公布日期 2000.03.21
申请号 JP19980338981 申请日期 1998.11.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/3065;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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