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发明名称 Metal to metal capacitor and method for producing same
摘要
申请公布号 SG71076(A1) 申请公布日期 2000.03.21
申请号 SG19970006258 申请日期 1997.12.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 COOK, ROBERT, K.;GRUSZECKI, CRAIG, R.;PASSARO, MARK, A.;SCHOLL, FREDERICK, A.
分类号 H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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