| 发明名称 |
PROCEDE DE NETTOYAGE D'UN POLYMERE BROME SUR UNE PLAQUETTE DE SILICIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2772290(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.17 |
| 申请号 |
FR19970016039 |
申请日期 |
1997.12.12 |
| 申请人 |
SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA |
发明人 |
SEVERAC DIDIER;DERIE MICHEL |
| 分类号 |
B08B3/04;B08B3/10;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/3213;(IPC1-7):B08B3/10;H01L21/306 |
主分类号 |
B08B3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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