| 发明名称 |
Heliumlecksuche mit FEP Membran, Getter und Differenzierstufe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE59409145(D1) |
申请公布日期 |
2000.03.16 |
| 申请号 |
DE19945009145 |
申请日期 |
1994.07.14 |
| 申请人 |
LEYBOLD AG |
发明人 |
VOSS, GUENTER;SCHOROTH, ANNO |
| 分类号 |
G01M3/20;(IPC1-7):G01M3/20 |
主分类号 |
G01M3/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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