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发明名称 PLASMA PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100249548(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19960018646 申请日期 1996.05.30
申请人 ANELVA CORPORATION 发明人 DAMURA DAKAHIRO
分类号 C23C16/50;C03C15/00;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
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