| 发明名称 |
POLYCRYSTALLINE SILICON DRYING METHOD AND DRYING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100246697(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.15 |
| 申请号 |
KR19980013764 |
申请日期 |
1998.04.17 |
| 申请人 |
SILTRON INC. |
发明人 |
SOHN, JI KWON;PARK, SUNG MIN |
| 分类号 |
C30B35/00;(IPC1-7):C30B35/00 |
主分类号 |
C30B35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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