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发明名称
SIDEWALL SPACER OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号
KR100246256(B1)
申请公布日期
2000.03.15
申请号
KR19960024503
申请日期
1996.06.27
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
KWEON, WON-TAEK;HAN, SANG-JOON
分类号
H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108
主分类号
H01L27/108
代理机构
代理人
主权项
地址
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