发明名称 METHOD FOR FORMING A CAPACITOR IN A MEMORY CELL IN A DRAM
摘要
申请公布号 KR100246649(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19960019943 申请日期 1996.05.31
申请人 NEC CORPORATION 发明人 HIROTA, TOSIUKI;GUROGAWA, TOMOMI;JENKEN, ASANOV;YOKOTA, GAJUKU
分类号 G03F7/20;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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