SECONDARY EDGE REFLECTOR FOR HORIZONTAL REACTOR,申请号EP19980914635-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	SECONDARY EDGE REFLECTOR FOR HORIZONTAL REACTOR
摘要
申请公布号	EP0985060(A1)	申请公布日期	2000.03.15
申请号	EP19980914635	申请日期	1998.04.08
申请人	MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC.	发明人	RIES, MICHAEL, J.;HELLWIG, LANCE, G.;ROSSI, JON, A.
分类号	C23C16/48;C30B25/10;H01L21/205;(IPC1-7):C30B31/12	主分类号	C23C16/48
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