发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING FIELD OXIDATION FILM
摘要
申请公布号 KR100248813(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19930010824 申请日期 1993.06.14
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 GONG, UI SAM;YUN, YONG HYOG;LEE, BYONG SOG
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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