发明名称 PHASE SHIFT PHOTO MASK
摘要
申请公布号 KR100249725(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19990024453 申请日期 1999.06.26
申请人 DAI NIPPON PRINTING CO., LTD. 发明人 MIYASHITA, HIROYUMI;TAKAHASHI, MASAHIRO
分类号 G03F1/26 主分类号 G03F1/26
代理机构 代理人
主权项
地址