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发明名称 METHOD FOR FORMING A MULTI-METAL INTERCONNECTION IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100249779(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19970065703 申请日期 1997.12.03
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 PARK, JONG MOON;JIN, YUNG MO;NAM, KI SOO;YOON, YONG SUN;BAEK, KYU HA
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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