发明名称 RETICLE ALIGNMENT METHOD USING CAPACITANCE SENSOR
摘要
申请公布号 KR100249789(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19970071611 申请日期 1997.12.22
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 KIM DO HUN;JUNG HAE BIN;KIM BO WOO
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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