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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER CHUCK
摘要
申请公布号
KR200171679(Y1)
申请公布日期
2000.03.15
申请号
KR19990013739U
申请日期
1999.07.13
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
KIM, JAE-YOUNG
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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