发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER CHUCK
摘要
申请公布号 KR200171679(Y1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19990013739U 申请日期 1999.07.13
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 KIM, JAE-YOUNG
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
地址