发明名称 METHOD OF FORMING METAL INTERCONNECTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100246103(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19970030645 申请日期 1997.07.02
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 LEE, NAN-YI
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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