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发明名称
摘要
申请公布号
JP3020405(B2)
申请公布日期
2000.03.15
申请号
JP19940045728
申请日期
1994.03.16
申请人
发明人
分类号
H01L29/74;H01L31/111;(IPC1-7):H01L29/74
主分类号
H01L29/74
代理机构
代理人
主权项
地址
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