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发明名称
BROADBAND IMPEDANCE MATCHING PROBE
摘要
申请公布号
EP0985154(A1)
申请公布日期
2000.03.15
申请号
EP19980923432
申请日期
1998.05.20
申请人
GGB INDUSTRIES, INC.
发明人
BOLL, GREGORY, G.;BOLL, HARRY, J.
分类号
G01R31/26;G01R1/067;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/02
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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