| 发明名称 |
SAMPLE FOR ANALYZING WAFER AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
KR100247807(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.15 |
| 申请号 |
KR19970060976 |
申请日期 |
1997.11.19 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
CHOI, JU HO |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
