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发明名称 SENDING APPARATUS FOE SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 KR100246105(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19930016786 申请日期 1993.08.27
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 IMAHASHI, ISEI
分类号 C23C16/44;C23C16/54;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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