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发明名称
ETCHANT
摘要
申请公布号
KR100248154(B1)
申请公布日期
2000.03.15
申请号
KR19970065128
申请日期
1997.12.02
申请人
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD.
发明人
JUNG, SANG-CHUL
分类号
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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