发明名称 ETCHANT
摘要
申请公布号 KR100248154(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19970065128 申请日期 1997.12.02
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 JUNG, SANG-CHUL
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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