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发明名称
FABRICATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR100246691(B1)
申请公布日期
2000.03.15
申请号
KR19970034879
申请日期
1997.07.25
申请人
NEC CORPORATION
发明人
TANAKA, TAKAO
分类号
H01L21/316;H01L21/762;H01L21/8246;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/112
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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