发明名称 TREATING SOLUTION SUPPLYING METHOD AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100249271(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19970005165 申请日期 1997.02.20
申请人 DAINIPPON SCREEN SEIJO K.K. 发明人 OOTANI, MASHAMI;HUKUTOMI, YOSHITERU
分类号 B05C11/08;B05C11/10;G03D3/06;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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