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发明名称 CHARGE NEUTRALIZATION APPARATUS FOR ION IMPLANTATION SYSTEM
摘要
申请公布号 KR100247666(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19910071512 申请日期 1991.11.02
申请人 VARIAN ASSOCIATES INC. 发明人 LEUNG, KA-NGO;KUNKEL, WULF B.;WILLIAMS, MALCOM D.;MCKENNA, CHARLES M.
分类号 C23C14/48;H01J37/02;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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