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发明名称 METHOD FOR FORMING OXIDATION FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100246776(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19960073607 申请日期 1996.12.27
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 SHIN, SUNG U;HAN, IL GUN;KIM, JONG TAE
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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