| 发明名称 |
Improvements in methods of depositing a volatile material on a solid support |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1139252(A) |
申请公布日期 |
1969.01.08 |
| 申请号 |
GB19660021691 |
申请日期 |
1967.06.09 |
| 申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE |
发明人 |
ROBOT MICHEL;MARFAING YVES;COHEN-SOLAL GERARD;BAILLY FRANCIS |
| 分类号 |
C23C14/24;C30B23/06;H01L21/00 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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