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发明名称 SPINDRIER
摘要
申请公布号 KR100248564(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19930005826 申请日期 1993.04.07
申请人 TOKYO ELECTRON KYUSHU LIMITED;TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SHIRAISHI, HIROFUMI;HONDA, YOSHIYUKI
分类号 F26B5/08;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 F26B5/08
代理机构 代理人
主权项
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