发明名称 CARRIER FILM FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS ENABLING PARTIAL CONTROL OF POLISHING RATE
摘要
申请公布号 KR100247932(B1) 申请公布日期 2000.03.15
申请号 KR19970032906 申请日期 1997.07.15
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, JONG-WON;YOON, BO-UN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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