| 发明名称 |
Apparat til frembringelse af en lineær bueudladning til plasmabearbejdning |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DK0792572(T3) |
申请公布日期 |
2000.03.13 |
| 申请号 |
DK19950937260T |
申请日期 |
1995.10.20 |
| 申请人 |
SURFCOAT OY |
发明人 |
BARDOS, LADISLAV;BARANKOVA, HANA |
| 分类号 |
H05H1/34;C23C14/24;C23C14/40;C23C16/50;H01L21/31;H05H1/48;H05H1/50;(IPC1-7):H05H1/46;H01J37/34 |
主分类号 |
H05H1/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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