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发明名称
摘要
申请公布号
JP3018410(B2)
申请公布日期
2000.03.13
申请号
JP19900173330
申请日期
1990.06.29
申请人
发明人
分类号
H01L27/118;H01L21/28;H01L21/82;H01L21/8234;H01L21/8246;H01L27/088;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/824
主分类号
H01L27/118
代理机构
代理人
主权项
地址
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