发明名称
摘要
申请公布号 JP3018410(B2) 申请公布日期 2000.03.13
申请号 JP19900173330 申请日期 1990.06.29
申请人 发明人
分类号 H01L27/118;H01L21/28;H01L21/82;H01L21/8234;H01L21/8246;H01L27/088;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/824 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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