| 主权项 |
1.一种热脉冲式微流量计之制法,包括下列步骤:制备一微通道,用以供待测流体通过;于该微通道之上游侧,设置一加热器,以对流经该微通道之待测流体加热;于该微通道上,该加热器之下游侧,设置一感热器S0;于该S0感热器之下游侧L1处,设置一感热器S1,该L1値系由下式求得:dF=(A*L1)*{1/(T)-1/(T+dT)},其中,A为微通道截面积;T为时间差,T=(A*L1)/F1,F1为大量测流量;dT为热脉冲讯号失真解析度;且dF为量测所需解析度;计算该感热器S1最小量测流量F1min:F1min=(A*L1)/R其中,R为流量计所要求之最小反应时间;及由远而近,于该微通道上,该加热器之下游侧与该S1感热器之上游侧,设置感热器S2,S3...Sn(n N),直到F(n)min小于一定値为d;其中该感热器Sn与S0感热器之距离Ln系由下式算出:dF=(A*Ln)*{1/(T)-1/(T+dT)},其中,A,Ln,dT及dF定义同前,T=(ALn)/{F(n-1)min+},表一调整値。2.一种热脉冲式微流量计之制法,包括下列步骤:制备一微通道,用以供待测流体通过;于该微通道之上游侧,设置一加热器,以对流经该微通道之待测流体加热;于该微通道上,该加热器之下游侧,设置一感热器S0;决定一位于该S0感热器之下游,且距离该S0感热器最远之感热器S1与该S0感热器之距离L1;该距离系以下式求得:dF=(A*L1)*{1/(T)-1/(T+dT)},其中,A为微通道截面积;T为时间差,T=(A*L1)/F1,F1为最大量测流量;dT为热脉冲讯号失真解析度;且dF为量测所需解析度;计算该感热器S1最小量测流量F1min:F1min=(A*L1)/R其中,R为流量计所要求之最小反应时间;由远而近(距离该S0感热器),决定位于该S0感热器与该S1感热器间之数个感热器S2.S3...Sn,直到F(n)min小于一定値为止;该感热器Sn与S0感热器之距离Ln系由下式算出:dF=(A*Ln)*{1/(T)-1/(T+dT)},其中,A,Ln,dT及dF定义同前,T=(A*Ln)/{F(n-1)min+,表一调整値;及依所算得之L1,L2,…Ln,将感热器S1,S2…Sn设于该微通道上。3.一种依据申请专利范围第1项或第2项之方法制成之热脉冲式微流量计量测模组。图式简单说明:第一图表示热脉冲式微流量计之原理示意图。第一图(a)表示热脉冲式微流量计之讯号与解析度关系图。第二图表示一种质流量控制器之结构示意图。第三图表示习用热脉冲式微流量计之最大量测流量与其解析度关系图。第四图表示本发明之热脉冲式微流量计一实施例之平面示意图。第五图表示本发明一实例之讯号读取电路系统图。第六图表示本发明热脉冲式微流量计设计步骤流程图。第七图表示流量为200sccm时,两热敏电阻位置距离与流量计解析度之关系图。第八图表示本发明之热脉冲式微流量计讯号读取之流程图。 |
