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发明名称 Musterherstellungssystem
摘要
申请公布号 DE69131682(T2) 申请公布日期 2000.03.09
申请号 DE19916031682T 申请日期 1991.12.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 NAKAMURA, HATSUO
分类号 G03F7/22;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/22
代理机构 代理人
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