| 摘要 |
<p>Beschrieben ist ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements umfassend die Schritte: Herstellung eines halbfertigen mikromechanischen Bauelements auf an sich bekannte Weise; Herstellung von Öffnungen (4); Bildung eines Hohlraums (3); Verschließen der Öffnungen (4) mit Verschlußdeckeln (7); Entfernung von Material auf der Oberseite der ersten Membranschicht, wobei die Oberfläche der ersten Membranschicht freigelegt und planarisiert wird. Ferner betrifft die Erfindung ein mikromechanisches Bauelement, welches nach dem vorstehend beschriebenen Verfahren herstellbar ist, sowie die Verwendung in Sensoren, wie Drucksensoren, Mikrophonen oder Beschleunigungssensoren.</p> |
