| 发明名称 |
VERFAHREN FÜR DAS ANISOTROPE ÄTZEN VON STRUKTUREN IN LEITENDE MATERIALIEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE938597(T1) |
申请公布日期 |
2000.03.09 |
| 申请号 |
DE19970939297T |
申请日期 |
1997.09.05 |
| 申请人 |
OBDUCAT AB |
发明人 |
OLSSON, LENNART;HEIDARI, BABAK |
| 分类号 |
C25D7/00;C23F1/02;C25D7/12;C25F3/02;H05K3/07;(IPC1-7):C23F1/00;C25D5/00;C25D5/02;C25F3/14;C25D5/18 |
主分类号 |
C25D7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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