| 发明名称 |
PHOTORESIST HAVING A LOW LEVEL OF METAL IONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100242920(B1) |
申请公布日期 |
2000.03.02 |
| 申请号 |
KR19947003112 |
申请日期 |
1994.09.06 |
| 申请人 |
CLARIANT FINANCE(BVI) LIMITED |
发明人 |
DALIL M. RAHMAN;DANA L. DURHAM |
| 分类号 |
B01D15/00;B01D15/04;B01J39/04;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/38;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
B01D15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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