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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung Oxydschichten durch Abscheidung aus der Dampfphase
摘要
申请公布号 DE69603041(T2) 申请公布日期 2000.03.02
申请号 DE19966003041T 申请日期 1996.03.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 FUJII, EIJI;TOMOZAWA, ATSUSHI;TORII, HIDEO;TAKAYAMA, RYOICHI
分类号 C30B25/10;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/509;C30B25/16;(IPC1-7):C23C16/50;C23C16/44 主分类号 C30B25/10
代理机构 代理人
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