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发明名称 SULFONIUM SALT AND CHEMICALLY AMPLIFIED POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR100243490(B1) 申请公布日期 2000.03.02
申请号 KR19960051520 申请日期 1996.11.01
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP.(NT&T);SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD. 发明人 OSAWA, YOICHI;WATANABE, SATOSHI;TAKEMURA, KAYSUYA;NAGURA, SHIGEHIRO;TANAKA, AKINOBU;KAWAI, YOSHIO
分类号 G03F7/004;(IPC1-7):G03F7/004 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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